本實用新型提供了一種用于處理含氟廢渣的干燥預燒反應爐，屬于含氟廢渣處理設備技術(shù)領域。該反應爐包括爐體，爐體頂部設有加料管，爐體底部設有排料管，爐體內(nèi)腔設有加熱裝置，加熱裝置頂部安裝載料板，爐體左右兩側(cè)還分別設有抽真空裝置、干空氣充氣裝置，抽出爐體內(nèi)腔氣體的抽真空裝置通過管道與爐體內(nèi)腔連通，干空氣充氣裝置通過導氣管與爐體內(nèi)腔連通。本實用新型對含水量較低的含氟廢渣粉體進行干燥加氧預燒處理，達到適宜的溫度后便于后續(xù)工序中與五氯化磷氣體反應制備五氟化磷氣體以進一步用于合成六氟磷酸鋰；通過抽真空裝置和干空氣充氣裝置交替工作，結(jié)合加熱裝置對含氟廢渣粉體干燥及加氧預燒處理。