本發(fā)明提供一種同時激發(fā)縱?橫波的ZnO壓電涂層材料的制備方法,包括在基體上依次形成結(jié)合層、ZnO壓電涂層、保護層和電極層;其中,ZnO壓電涂層的制備方法包括:真空條件下,采用Zn靶材或ZnO靶材,通過磁控濺射在所述結(jié)合層表面形成ZnO壓電涂層;所述磁控濺射中,通入氬氣與氧氣的混合氣體;所述混合氣體中,氬氣與氧氣的流量比為2:1~1:3。本發(fā)明還提供一種基于上述制備方法制得的ZnO壓電涂層材料,ZnO壓電涂層在基體表面呈現(xiàn)不同的取向,具有能夠同時被超聲波的橫波和縱波激發(fā)的特性。本發(fā)明還提供一種智能螺栓,其表面設有上述ZnO壓電涂層材料,能夠同時被超聲波橫波和縱波激發(fā),進而能夠簡化預緊力計算步驟,易于實現(xiàn)螺栓預緊力的高精度無損測量。
聲明:
“同時激發(fā)縱-橫波的ZnO壓電涂層材料及其制備方法與應用” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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