本發(fā)明涉及一種鈦合金材料及其制備方法，尤其涉及一種鈦硅合金及其制備方法，屬于冶金技術(shù)領(lǐng)域。 背景技術(shù)： 我國的鈦資源非常豐富，蘊(yùn)藏量居世界前列。鈦白粉生產(chǎn)已有相當(dāng)規(guī)模，但鈦硅材料制備研究的比較少，鈦硅合金的研究具有較大的實(shí)際意義。 高熔點(diǎn)的金屬間化合物，具有低的密度、良好的抗氧化性，因而受到廣泛的重視。TiSi2是一種重要的硅化物，具有較好的高溫穩(wěn)定性、較高的高溫強(qiáng)度和良好的抗氧化能力，有希望成為1200℃以上使用的結(jié)構(gòu)材料。由于其電阻和熱阻均較低，TiSi2也有希望應(yīng)用于電氣連接和擴(kuò)散阻擋層，目前已被作為歐姆接觸和金屬互聯(lián)材料廣泛用于超大規(guī)模集成電路制造技術(shù)中；另外TiSi2薄膜在高溫下對壓力很敏感，有望成為高溫時(shí)的壓力感應(yīng)器材料。Ti5Si3具有六方D88型晶體結(jié)構(gòu)，具有高溫強(qiáng)度大，抗高溫氧化性能好等優(yōu)點(diǎn)。TiSi具有低電阻率、較高的熱穩(wěn)定性以及化學(xué)穩(wěn)定性等諸多優(yōu)異的性能。 傳統(tǒng)的鈦硅合金的制備是采用純金屬鈦和硅為原料制備的，由于金屬鈦制備成本高，工藝流程長，導(dǎo)致制備的鈦硅合金成本較高。 秦超等.SPS原位反應(yīng)制備TiSi2基復(fù)合材料的微觀結(jié)構(gòu)和性能研究[J].無機(jī)材料學(xué)報(bào)，2008.3，23(2)，209-212，公開了以工業(yè)用硅粉、碳粉和碳化鈦為原料，利用放電等離子燒結(jié)技術(shù)原位反應(yīng)制備了TiSi2/SiC兩相復(fù)合材料。陳貴清等.弱放熱反應(yīng)TiSi2燃燒合成的研究[J].粉末冶金技術(shù)，1998，16(4)：249-253，用自蔓延高溫燃燒法合成了TiSi2單相化合物，其合成過程需要?dú)鍤獗Ｗo(hù)。張炳.FFC法制備鈦硅合金的研究[D].東北：東北大學(xué),2008.公開了采用FFC法直接用TiO2和SiO2為原料熔鹽電解直接制備鈦硅合金：實(shí)驗(yàn)過程主要包括陰極制備和電解兩個(gè)部分。陰極制備流程包括如下步驟：均勻混合TiO2、SiO2粉末；添加1％(質(zhì)量比)的聚乙烯醇作為粘結(jié)劑；20MPa壓力下壓成形；1200℃下燒結(jié)4h；燒結(jié)后的片體和鉬絲、鎳硅絲組裝成復(fù)合陰極。適宜的電解條件為：以燒結(jié)的TiO2-SiO2片體為陰極,石墨坩堝為陽極,電解溫度900℃、電解電壓3.0V。其原料的處理較繁瑣。目前還沒有見到電硅熱還原鈦白粉一步合成制備鈦硅合金的報(bào)道。 《GB/T 3620.1-2007鈦及鈦合金牌號和化學(xué)成分》公開了現(xiàn)有鈦合金的種類及各鈦合金中的化學(xué)成分，其硅含量較