1.本發(fā)明實(shí)施例涉及電子元器件制備技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種金屬掩模的張網(wǎng)裝置及其方法、張網(wǎng)設(shè)備。 背景技術(shù)： 2.在電子元器件的制備工藝中，金屬掩模作為圖形信息的載體，通過(guò)真空蒸鍍的方式，將圖形轉(zhuǎn)移到被蒸鍍產(chǎn)品上，從而形成具有相應(yīng)圖形形狀的電子元器件。 3.通常金屬掩模和被蒸鍍產(chǎn)品會(huì)由相應(yīng)的載體進(jìn)行固定，且載有金屬掩模和被蒸鍍產(chǎn)品的載體會(huì)發(fā)生相對(duì)運(yùn)動(dòng)，使得在將金屬掩模的圖形轉(zhuǎn)移至被蒸鍍產(chǎn)品時(shí)，能夠滿足一定的精度要求。現(xiàn)有技術(shù)中金屬掩模會(huì)采用相應(yīng)的裝置進(jìn)行夾持拉伸，以對(duì)金屬掩模進(jìn)行張網(wǎng)。 4.但是，隨著集成度的提高，電子元器件制備工藝的精度要求越來(lái)越高，對(duì)金屬掩模進(jìn)行張網(wǎng)的精度要求越來(lái)越高，如何在確保金屬掩模具有較高張網(wǎng)精度的前提下，實(shí)現(xiàn)金屬掩模的自動(dòng)化張網(wǎng)，成為當(dāng)前亟待解決的技術(shù)問(wèn)題。 技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素： 5.針對(duì)上述存在問(wèn)題，本發(fā)明實(shí)施例提供一種金屬掩模的張網(wǎng)裝置及其方法、張網(wǎng)設(shè)備，以在確保金屬掩模具有較高張網(wǎng)精度的前提下，能夠?qū)崿F(xiàn)金屬掩模的自動(dòng)化張網(wǎng)。 6.第一方面，本發(fā)明實(shí)施例提供了一種金屬掩模的張網(wǎng)裝置，包括：多個(gè)夾持拉伸模塊和與多個(gè)所述夾持拉伸模塊一一對(duì)應(yīng)設(shè)置的多個(gè)第一運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)； 7.至少部分所述夾持拉伸模塊分布于金屬掩模張網(wǎng)區(qū)相對(duì)的兩側(cè)；每個(gè)所述夾持拉伸模塊包括夾持單元、柔性單元、拉伸單元以及位移檢測(cè)單元；所述柔性單元設(shè)置于所述夾持單元與所述拉伸單元之間，且所述夾持單元、所述柔性單元和所述拉伸單元沿第一方向依次排列；所述拉伸單元設(shè)置于所述第一運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)上；所述第一運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)所述拉伸單元沿所述第一方向和/或第二方向運(yùn)動(dòng)，所述拉伸單元拉伸所述柔性單元，以使所述柔性單元發(fā)生形變，并帶動(dòng)所述夾持單元在所述第一方向和/或所述第二方向上發(fā)生位移；其中，所述第一方向與所述第二方向交叉； 8.所述夾持單元用于夾持并固定位于所述金屬掩模張網(wǎng)區(qū)的金屬掩模； 9.所述位移檢測(cè)單元用于檢測(cè)對(duì)應(yīng)的所述拉伸單元的位移信息； 10.其中，各所述第一運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)的運(yùn)動(dòng)狀態(tài)相互獨(dú)立，以及同一所述第一運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)在所述第一方向上的運(yùn)動(dòng)狀態(tài)與其在所述第二方向上的運(yùn)動(dòng)狀態(tài)相互獨(dú)立。 11.第二方面，本發(fā)明實(shí)施例還提供了一種金屬掩模的張網(wǎng)方法，采用金屬掩模的張網(wǎng)裝置執(zhí)行，所述金屬掩模的張網(wǎng)裝置包括多個(gè)拉伸單元，所述金屬掩模包括預(yù)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記、多個(gè)tp標(biāo)記和多個(gè)像素標(biāo)記，所述多個(gè)像素標(biāo)記中包