一種alcu合金靶材制備方法 技術(shù)領(lǐng)域 1.本發(fā)明涉及真空鍍膜領(lǐng)域，更具體地說，它涉及一種alcu合金靶材制備方法。 背景技術(shù)： 2.在高純鋁中加入微量的銅元素，制備的alcu合金具有優(yōu)異的導(dǎo)電性廣泛應(yīng)用于顯示和半導(dǎo)體行業(yè)，常規(guī)alsi合金靶材因其導(dǎo)電性一般而逐步被alcu合金靶材替代。常規(guī)alcu合金靶材一般都通過熔煉澆鑄后通過加工獲得，其表面缺陷較多，經(jīng)常會有氣孔存在。 3.因此需要提出一種新的方案來解決這個問題。 技術(shù)實現(xiàn)要素： 4.針對現(xiàn)有技術(shù)存在的不足，本發(fā)明的目的在于提供一種alcu合金靶材制備方法，通過粉末冶金的方法獲得原料后加工制備的靶材可以獲得均勻的化學(xué)成分及表面質(zhì)量。 5.本發(fā)明的上述技術(shù)目的是通過以下技術(shù)方案得以實現(xiàn)的：一種alcu合金靶材制備方法，包括以下步驟： 6.s1：選用5n納米al粉末和納米cu粉末作為原料，按照原子質(zhì)量份數(shù)，將99％～99.9％的al粉末、0.1％～1％的cu粉體倒入真空氣霧化設(shè)備中，溫度1000～1200℃，壓力3～5mpa，制備alcu合金粉末； 7.s2：將所述合金粉末進(jìn)行壓制成型，得到alcu合金圓棒形毛坯； 8.s3：將所述合金圓棒形毛坯進(jìn)行擠壓成型，擠壓后快速冷卻產(chǎn)品，得到alcu合金毛坯管靶材或者平面圓靶材； 9.s4：將上述靶材進(jìn)行退火； 10.s5：將上述合金毛坯管靶材與6系鋁合金加工后焊接并加工得到alcu旋轉(zhuǎn)靶材；將上述合金毛坯平面圓靶材加工后與cu背板涂銦綁定并加工得到alcu平面靶材。 11.本發(fā)明進(jìn)一步設(shè)置為：在s1步驟中，al粉和cu粉的規(guī)格均選用d50為60～100um。 12.本發(fā)明進(jìn)一步設(shè)置為：在s2步驟中，壓制成型的設(shè)備為四柱液壓機(jī)，壓力為400～600mpa，保壓時間5～10min。 13.本發(fā)明進(jìn)一步設(shè)置為：在步驟s3中，擠壓成型設(shè)備為5kt擠壓機(jī)，擠壓溫度為300～400℃，毛坯的加熱溫度為300～400℃。 14.本發(fā)明進(jìn)一步設(shè)置為：在s3步驟中，平面圓靶材通過正向擠壓或反向擠壓完成。 15.本發(fā)明進(jìn)一步設(shè)置為：在s3步驟中，管靶材通過反向擠壓完成。 16.本發(fā)明進(jìn)一步設(shè)置為：在s4步驟中，退火溫度為250～400℃，保溫時間為1～3h，退火冷卻方式為隨爐冷卻。 17.本發(fā)明進(jìn)一步設(shè)置為：在s5步驟中，綁定的步驟包括準(zhǔn)備合金毛坯平面