1.本實(shí)用新型涉及硅片分選技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及一種用于分選機(jī)的高精度硅片輸送裝置。
背景技術(shù):
2.在硅片分選機(jī)的生產(chǎn)線中,生產(chǎn)硅片需要先將硅棒切割成硅片,然后對(duì)硅片清洗,清洗完成后需要對(duì)硅片進(jìn)行多項(xiàng)檢測(cè),例如包括表面臟污、厚度、隱裂、電阻率等性能的檢測(cè),檢測(cè)完成后需要清除清洗時(shí)產(chǎn)生的硅片表面碎片。
3.現(xiàn)有技術(shù)中的吹片裝置通常用于清洗時(shí)從硅片側(cè)面吹片,而這種技術(shù)方案不適用于輸送過(guò)程中吹走硅片表面碎片。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:
4.針對(duì)上述現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn),本實(shí)用新型的目的是提供一種用于分選機(jī)的高精度硅片輸送裝置,以解決現(xiàn)有技術(shù)中的一個(gè)或多個(gè)問(wèn)題。
5.為實(shí)現(xiàn)上述目的,本實(shí)用新型的技術(shù)方案如下:
6.一種用于分選機(jī)的高精度硅片輸送裝置,包括硅片、底座以及用于輸送所述硅片的輸送線,所述輸送線設(shè)置在所述底座上,所述輸送線包括第一輸送組和第二輸送組,所述第一輸送組遠(yuǎn)端和第二輸送組近端具有間隔,所述底座對(duì)應(yīng)間隔處開(kāi)設(shè)第一孔,所述第一孔下方設(shè)置盒體,所述第一輸送組包括第一平臺(tái),所述第一平臺(tái)兩側(cè)設(shè)置支架,所述支架上設(shè)置吹風(fēng)裝置,所述吹風(fēng)裝置的出風(fēng)口對(duì)準(zhǔn)所述間隔處,所述硅片輸送到間隔處時(shí)吹風(fēng)裝置吹風(fēng)將硅片表面碎片吹落至盒體。
7.進(jìn)一步的,所述吹風(fēng)裝置為風(fēng)刀,所述吹風(fēng)裝置還包括氣泵,所述氣泵通過(guò)氣管與所述風(fēng)刀連接。
8.進(jìn)一步的,所述風(fēng)刀底部開(kāi)設(shè)至少一條出風(fēng)口,所述出風(fēng)口的風(fēng)向與所述硅片表面垂直。
9.進(jìn)一步的,所述風(fēng)刀設(shè)置于所述輸送裝置中線處。
10.進(jìn)一步的,所述第一平臺(tái)遠(yuǎn)端兩側(cè)可旋轉(zhuǎn)的設(shè)置第一被動(dòng)驅(qū)動(dòng)件,所述第一平臺(tái)近端兩側(cè)可旋轉(zhuǎn)的設(shè)置第一主動(dòng)驅(qū)動(dòng)件,所述第一主動(dòng)驅(qū)動(dòng)件與第一被動(dòng)驅(qū)動(dòng)件通過(guò)第一傳送帶傳動(dòng)。
11.進(jìn)一步的,所述第一被動(dòng)驅(qū)動(dòng)件包括兩個(gè)第一被動(dòng)帶輪,所述第一主動(dòng)驅(qū)動(dòng)件包括設(shè)置在第一平臺(tái)內(nèi)的第一電機(jī)以及兩個(gè)第一主動(dòng)帶輪,所述第一主動(dòng)帶輪通過(guò)聯(lián)軸器連接第一電機(jī)的輸出端。
12.進(jìn)一步的,所述第二輸送組包括第二平臺(tái),所述第二平臺(tái)近端兩側(cè)可旋轉(zhuǎn)的設(shè)置第二被動(dòng)驅(qū)動(dòng)件,所述第二平臺(tái)遠(yuǎn)端兩側(cè)可旋轉(zhuǎn)的設(shè)置第二主動(dòng)驅(qū)動(dòng)件,所述第二主動(dòng)驅(qū)動(dòng)件與第二被動(dòng)驅(qū)動(dòng)件通過(guò)第二傳送帶傳動(dòng)。
13.進(jìn)一步的,所述第二被動(dòng)驅(qū)動(dòng)件包括兩個(gè)第二被動(dòng)帶輪,所述第二主動(dòng)驅(qū)動(dòng)件包
括設(shè)置在第二平臺(tái)內(nèi)的第二電機(jī)以及兩個(gè)第二主動(dòng)帶輪,所述第二主動(dòng)帶輪通過(guò)聯(lián)軸器連接第二電機(jī)的輸出端。
14.進(jìn)
聲明:
“用于分選機(jī)的高精度硅片輸送裝置的制作方法” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專(zhuān)利(論文)的發(fā)明人(作者)