設(shè)備介紹

此款CVD氣相沉積系統(tǒng)的工作溫度為300℃至1200℃，配備真空泵，氣體混合裝置。采用了溫度控制系統(tǒng)，高溫精度，出色的氣體流量精度，易于操作，有非常好的隔熱效果和溫度均勻性。該CVD管式爐適用于CVD工藝，如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導(dǎo)電率測試、ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控生長、陶瓷電容(MLCC)氣氛燒結(jié)等實驗。主要用于大學(xué)，研究中心和生產(chǎn)企業(yè)進(jìn)行氣相沉積相關(guān)的實驗與生產(chǎn)。

產(chǎn)品優(yōu)勢

智能控溫

智能PID控制，具有多段可編程控溫和自整定功能，多段"時間—溫度曲線"任意可設(shè)

氣密性好

可重復(fù)拆裝的不銹鋼密封法蘭。拆裝方便，密封性好，可抽真空通多種氣氛

上開啟式結(jié)構(gòu)

雙層殼體上開啟結(jié)構(gòu)，取放爐管方便，裝有風(fēng)冷系統(tǒng),爐子外殼溫度保持安全范圍內(nèi)

技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)品名稱 化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)

產(chǎn)品型號 KJ-TCVD1200-S80LK1

管式爐部分

爐膛模式 開啟式

顯示模式 LED

爐膛材料 氧化鋁耐火纖維

加熱元件 合金電阻絲

極限溫度 1200℃

工作溫度 ≤1100℃

升溫速率 0-10℃/min

加熱溫區(qū) 單溫區(qū)

溫區(qū)長度 440mm(其他尺寸可按客戶需求定制)

爐管材質(zhì) 高純石英

爐管外徑 80mm(其他尺寸可按客戶需求定制)

爐管長度約 1000mm(其他尺寸可按客戶需求定制)

密封方式 可重復(fù)拆裝的不銹鋼密封法蘭。拆裝方便，密封性好

控制模式 智能PID控制，具有多段可編程控溫和自整定功能

溫度曲線 多段"時間—溫度曲線"任意可設(shè)

報警：有超溫和斷偶報警

測溫元件 N型熱電偶

供氣系統(tǒng)

流 量 計 三路質(zhì)量流量計(量程可根據(jù)需要選擇)

A路量程 氮氣 0～1000SCCM

B路量程 甲烷 0～500SCCM

C路量程 乙烯 0～1000SCCM

混氣 內(nèi)含一個精密混氣罐

工作環(huán)境溫度 5℃-45℃

真空系統(tǒng)(含不銹鋼波紋管和相關(guān)連接配件)

真空泵抽速 2L/S抽速的機(jī)械旋片泵、波紋管及相關(guān)連接件，極限真空可實現(xiàn)10pa

數(shù)顯真空計 數(shù)顯電阻真空計集成在可移動供氣系統(tǒng)箱體上

測量路數(shù) 1路

顯示方式 LED數(shù)字顯示