1.本發(fā)明涉及半導(dǎo)體高純石英加工環(huán)領(lǐng)域，具體涉及一種半導(dǎo)體級石英環(huán)的生產(chǎn)工藝。 背景技術(shù)： 2.石英玻璃是玻璃的一種，其他玻璃有各種各樣的成分，而石英玻璃的主要成分是sio2，石英玻璃的純度非常高、耐熱性、透光性、電氣絕緣性和化學(xué)穩(wěn)定性等均非常優(yōu)良，故半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中正好需要這樣優(yōu)良的性能，氧和硅在自然中組合形成氧化硅，包括氧化硅砂和無色水晶，被開采和熔煉成石英，然后被制造成最終石英制品，由于石英材料具有硬度高、易碎的特點(diǎn)，所以石英加工一直是業(yè)內(nèi)的難點(diǎn)； 3.目前行業(yè)加工的石英制品尺寸精度低，表面狀態(tài)比較粗糙，半導(dǎo)體級石英制品要求的材料的純度很高，加工精度要求0.01mm以上，很難滿足半導(dǎo)體行業(yè)的需求； 4.針對上述的技術(shù)缺陷，現(xiàn)提出一種解決方案。 技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素： 5.為了克服上述的技術(shù)問題，本發(fā)明的目的在于提供了一種半導(dǎo)體級石英環(huán)的生產(chǎn)工藝：通過將高純石英母材晶錠經(jīng)過切割、水切割、平面研磨、mc加工、脫脂洗凈、化學(xué)洗凈、包裝，最終得到半導(dǎo)體級石英環(huán)，解決了現(xiàn)有的石英制品尺寸精度低，表面狀態(tài)比較粗糙，半導(dǎo)體級石英制品要求的材料的純度很高，很難滿足半導(dǎo)體行業(yè)的需求的問題。 6.本發(fā)明的目的可以通過以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)： 7.一種半導(dǎo)體級石英環(huán)的生產(chǎn)工藝，包括以下步驟： 8.步驟一：將石英錠一端放置于晶錠切割設(shè)備的輸送輥上，通過限位座夾持，將石英錠另一端放入夾持機(jī)構(gòu)的內(nèi)腔中，通過夾持機(jī)構(gòu)夾持，通過移動電機(jī)和輸送電機(jī)帶動石英錠向落刀槽的頂部移動，通過金剛石切割刀將石英錠進(jìn)行切割，形成石英圓片； 9.步驟二：將石英圓片放置于水切割機(jī)的平臺上面進(jìn)行內(nèi)外徑加工，形成石英圓環(huán)粗品，內(nèi)外徑余量為5mm,用于后續(xù)mc加工； 10.步驟三：將石英圓環(huán)粗品進(jìn)行平面研削加工，保證平面度以及平行度要求達(dá)0.02mm以內(nèi)，平面研削之后進(jìn)行mc加工，通過mc將其余所有特征尺寸加工出來，得到石英圓環(huán)半成品； 11.步驟四：將石英圓環(huán)半成品進(jìn)行脫脂洗凈，洗凈時間為0.5小時，主要用于去除產(chǎn)品表面的有機(jī)物； 12.步驟五：脫脂洗凈之后進(jìn)行純水超聲波清洗，洗凈時間控制0.5小時，目的是去除石英產(chǎn)品表面殘留的有機(jī)物、無機(jī)物和浮于產(chǎn)品表面的微粒； 13.步驟六：純水超聲波清洗后用質(zhì)量分?jǐn)?shù)為2 ? 10％的聚天冬氨酸水溶液洗凈，進(jìn)行脫金屬處理，目的是于去除產(chǎn)品表面的金屬元素； 14.