權(quán)利要求
1.半導(dǎo)體器件的制備方法,其特征在于,包括:
在襯底上外延生長(zhǎng)外延材料層;
在所述外延材料層的至少部分區(qū)域形成導(dǎo)電區(qū);
在所述外延材料層遠(yuǎn)離所述襯底的一側(cè)制備柵極、源極和漏極;
在所述襯底遠(yuǎn)離所述外延材料層的一側(cè)刻蝕形成通孔,所述外延材料層為刻蝕停止層;
在所述襯底遠(yuǎn)離所述外延材料層的一側(cè)形成背金層,所述背金層延伸至所述通孔內(nèi),并通過(guò)所述導(dǎo)電區(qū)內(nèi)的外延材料層與所述源極電學(xué)連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體器件的制備方法,其特征在于,在所述外延材料層的至少部分區(qū)域形成導(dǎo)電區(qū)的步驟,包括:
在所述外延材料層的至少部分區(qū)域進(jìn)行離子注入,以形成第一注入?yún)^(qū);
將所述第一注入?yún)^(qū)激活,以形成所述導(dǎo)電區(qū)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體器件的制備方法,其特征在于,在襯底上外延生長(zhǎng)外延材料層的步驟,包括:
在所述襯底上依次沉積成核層、第一外延層、第二外延層和帽層;
在所述外延材料層的至少部分區(qū)域進(jìn)行離子注入的步驟,包括:
在至少部分區(qū)域內(nèi)的所述成核層和所述第一外延層進(jìn)行離子注入。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體器件的制備方法,其特征在于,所述導(dǎo)電區(qū)位于所述通孔上方,且所述導(dǎo)電區(qū)的形狀與所述通孔的截面形狀相適配。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的半導(dǎo)體器件的制備方法,其特征在于,在所述外延材料層的至少部分區(qū)域形成導(dǎo)電區(qū)的步驟之后,所述制備方法還包括:
在所述導(dǎo)電區(qū)周圍形成絕緣區(qū)。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的半導(dǎo)體器件的制備方法,其特征在于,在所述導(dǎo)電區(qū)周圍形成絕緣區(qū)的步驟包括:
在所述導(dǎo)電區(qū)周圍進(jìn)行離子注入,以形成所述絕緣區(qū)。
7.半導(dǎo)體器件,其特征在于,所述半導(dǎo)體器件包括:
襯底;
設(shè)置在所述襯底一側(cè)的外延材料層;
設(shè)置在所述外延材料層遠(yuǎn)離所述襯底一側(cè)的源極、漏極和柵極;
以及,設(shè)置在所述襯底遠(yuǎn)離所述外延材料層一側(cè)的背金層;
其中,所述外延材料層的至少部分區(qū)域形成有導(dǎo)電區(qū),所述襯底遠(yuǎn)離所述外延材料層的一側(cè)形成有通孔,所述背金層延伸至所述通孔內(nèi),并通過(guò)所述導(dǎo)電區(qū)內(nèi)的外延材料層與所述源極電學(xué)連接。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的半導(dǎo)體器件,其特征在于,所述導(dǎo)電區(qū)位于所述通孔上方,且所述導(dǎo)電區(qū)的形狀與所述通孔的截面形狀相適配。
9.根據(jù)權(quán)
聲明:
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我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)