本發(fā)明提供一種基于透射光柵傾斜波前的太赫茲脈沖產(chǎn)生裝置及方法，所述裝置包括依次排列的飛秒激光器、透射光柵、半波片、成像系統(tǒng)和鈮酸鋰發(fā)射晶體；所述飛秒激光器發(fā)射的泵浦飛秒激光通過所述透射光柵發(fā)射衍射；所述半波片接收所述透射光柵的正/負(fù)一級衍射光；經(jīng)半波片改變泵浦飛秒激光的偏振方向后，通過成像系統(tǒng)入射至鈮酸鋰發(fā)射晶體，在所述鈮酸鋰發(fā)射晶體中產(chǎn)生太赫茲脈沖輻射。透射光柵的正/負(fù)一級衍射光與入射光方向夾角小，在光路搭建的過程中更加容易，且能夠?qū)崿F(xiàn)光柵角度的精確調(diào)諧，獲得更好的太赫茲脈沖發(fā)射效率。