設(shè)備介紹

定制流化床CVD系統(tǒng)，由真空立式管式爐、供氣系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、真空測量系統(tǒng)組成。該系統(tǒng)以硅碳棒為加熱元件，采用雙層殼體結(jié)構(gòu)和30段程序控溫儀表，移相觸發(fā)、可控硅控制，爐膛采用氧化鋁多晶纖維材料，爐管兩端用不銹鋼法蘭密封，不銹鋼法蘭上安裝有氣嘴、閥門和壓力表，真空泵接口，具有溫場均衡、表面溫度低、升降溫度速率快、節(jié)能等優(yōu)點(diǎn)。該立式CVD管式爐廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)中沉積薄膜材料，包括大范圍的絕緣材料，以及大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料、二維材料等，如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導(dǎo)電率測試、ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控生長、陶瓷電容(MLCC)氣氛燒結(jié)等實(shí)驗(yàn)。

產(chǎn)品優(yōu)勢

多段智能PID程序控溫

控溫系統(tǒng)采用PID方式調(diào)節(jié)，可以設(shè)置30段升降溫程序，控溫精度可以達(dá)到±1℃

優(yōu)良的動(dòng)密封系統(tǒng)

不銹鋼金屬法蘭，帶閥門和相關(guān)接口，拆裝方便，可抽真空充保護(hù)氣體至微正壓

立式可開啟結(jié)構(gòu)

雙層殼體立式可開啟結(jié)構(gòu)，取放爐管方便，裝有風(fēng)冷系統(tǒng),爐子外殼溫度保持安全范圍內(nèi)

技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)品名稱 流化床CVD系統(tǒng)

產(chǎn)品型號(hào) KJ-CVD-DZ

立式管式爐部分

爐膛模式 立式開啟式

爐膛材料 進(jìn)口氧化鋁耐火纖維

加熱元件 優(yōu)質(zhì)硅碳棒

極限溫度 1400℃

工作溫度 ≤1300℃

升溫速率 建議≤10℃/min

加熱溫區(qū) 單溫區(qū)、多溫區(qū)

溫區(qū)總長度 200mm、300mm、440mm可選(其他尺寸可根據(jù)客戶需求定制)

爐管材質(zhì) 高純石英管、剛玉管

爐管直徑 40、50、60、80、100mm可選(其他尺寸可根據(jù)客戶需求定制)

密封方式 304不銹鋼真空法蘭一套(含密封硅膠圈)

控制模式 多段智能PID程序控溫 預(yù)留通訊接口

控溫精度 ±1℃

溫度曲線 多段"時(shí)間—溫度曲線"任意可設(shè)

測溫元件 N型熱電偶

氣路系統(tǒng)部分

氣體通道 可同時(shí)連接多種氣源

流 量 計(jì) 質(zhì)量流量計(jì)

A路量程 0～500SCCM

B路量程 0～500SCCM

C路量程 0～500SCCM

氣路壓力 -0.1～0.15 MPa

截止閥 不銹鋼材質(zhì)

氣體連接管 1/4不銹鋼管

數(shù)顯真空計(jì)及連接件

數(shù)顯真空計(jì) 數(shù)顯真空計(jì)安裝在不銹鋼法蘭上

真空泵組(相關(guān)連接配件)

真空泵 真空泵,及相應(yīng)連接管件

售后服務(wù)

質(zhì)保一年，終身保修(耗材類：高溫密封圈、爐管、加熱元件等不屬于質(zhì)保范圍)