設(shè)備介紹
本CVD系統(tǒng)是由管式爐加熱系統(tǒng),質(zhì)子流量計(jì)供氣系統(tǒng),真空系統(tǒng)和氣體定量系統(tǒng)組成,帶水冷法蘭雙路流量計(jì)并配有雙極旋片泵、水冷機(jī)、數(shù)字真空計(jì)且該CVD反應(yīng)爐可抽真空、通氣氛,該設(shè)備適用于各種CVD實(shí)驗(yàn)。
產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
雙層殼體上開(kāi)啟結(jié)構(gòu)
雙層殼體上開(kāi)啟結(jié)構(gòu),取放爐管方便,裝有風(fēng)冷系統(tǒng),爐子外殼溫度保持安全范圍內(nèi)
超溫保護(hù)和預(yù)警功能
內(nèi)置PID自動(dòng)調(diào)節(jié)功能,具有過(guò)熱和熱電偶損壞保護(hù)功能,超溫保護(hù)和報(bào)警
溫控系統(tǒng)智能精準(zhǔn)
控溫系統(tǒng)采用PID方式調(diào)節(jié),可以設(shè)置30段升降溫程序,控溫精度可以達(dá)到±1℃
技術(shù)參數(shù)
產(chǎn)品名稱(chēng) 兩通道CVD系統(tǒng)
產(chǎn)品型號(hào) KJ-T1200-CVDII
管式爐部分
工作溫度 ≤1100℃
控溫精度 ±1℃
加熱速率 建議≤10℃/min
控溫模式 可編程智能PID
曲線(xiàn)段數(shù) 30段
爐膛長(zhǎng)度 440mm(其他尺寸可按客戶(hù)需求定制)
數(shù)據(jù)接口 USB
混氣系統(tǒng)
測(cè)量設(shè)備 質(zhì)量流量控制器
測(cè)量量程 500SCCM
氣體通道 兩通道
連接管道 304不銹鋼管
接口模式 卡套接頭